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美國(guó)Agilent TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵,采用 TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。
型號(hào) | |
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更新時(shí)間 | 2020-07-13 |
訪問次數(shù) | 1523 |
高真空渦輪分子泵采用TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng),并能保證較佳的軸承工作條件,從而能延長(zhǎng)工作壽命,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr84FS泵*的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì),使得泵無需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
美國(guó)Agilent TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵特性:
1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 能提高小分子氣體壓縮比,而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和小的系統(tǒng)體積。
2.耐受高前級(jí)壓力 — 允許使用更小的前級(jí)泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng),低噪音,較佳的軸承工作條件,延長(zhǎng)泵的使用壽命,實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
4.*的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
5.銅制水冷通道(可選) — 可避免腐蝕,優(yōu)化熱傳遞性能,降低用水量和使用維護(hù)成本。
典型渦輪泵應(yīng)用:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到較佳性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
美國(guó)Agilent TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵應(yīng)用:
領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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性能指標(biāo)
技術(shù)規(guī)格
抽速: CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置: | N2:67 L/s N2:56 L/s N2:49 L/s | He:63 L/s/ He:46 L/s He:38 L/s/ | H2:53 L/s H2:40 L/s H2:36 L/s | Ar:66 L/s Ar:57 L/s Ar:44 L/s |
全轉(zhuǎn)速氣體流量(使用推薦的前級(jí)泵) 風(fēng)冷 (35 °C) 水冷 (25 °C, 65 L/h) | N2:100 sccm N2:100 sccm | Ar:70 sccm Ar:70 sccm | ||
壓縮比: | N2:≥ 1 × 1011 | He:2 × 106 | H2:5 × 104 | Ar:> 1 × 1011 |
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) | |||
入口法蘭 | CF 4.5 英寸(外徑) CF 2.75 英寸(外徑) | ISO 63 KF40 | ||
前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW | |||
轉(zhuǎn)速 | 81000 rpm(驅(qū)動(dòng)頻率 1350 Hz) | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | < 2 分鐘 | |||
推薦的前級(jí)泵 | 機(jī)械:DS 40M-DS 102 干式泵:Agilent IDP-3,SH 110 | |||
工作位置 | 任意位置 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空氣相對(duì)濕度 | 0 至 90%(非凝縮) | |||
烘烤溫度 | 入口法蘭高溫 120 °C(CFF 法蘭) 入口法蘭高溫 80 ℃(ISO 法蘭) | |||
潤(rùn)滑油 | 長(zhǎng)期潤(rùn)滑 | |||
冷卻要求 | 風(fēng)冷: 水冷: | 氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C 冷卻水溫度:+15 °C 至 +25 °C 流速:65 L/h (0.30 GPM) 壓力:2 至 4 bar(45 至 75 psi) | ||
噪音壓力級(jí)別(全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處) | 40 dB(A) * | |||
儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
海拔 | 3000 m | |||
認(rèn)證 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | |||
重量 kg(磅): | 泵 ISO 63: | 泵 CFF 4.5 英寸: | 泵 CFF 2.75 英寸: | 泵 KF 40: |